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8月16日，万业企业旗下控股子公司——嘉芯半导体设备科技有限公司（简称“嘉芯半导体”）与嘉善复旦研究院宣布达成战略合作。嘉善复旦研究院副院长丁士进、嘉芯半导体设备科技有限公司董事长兼CEO周伟芳莅临战略签约仪式。
根据战略合作协议，双方将秉持“互利共赢、开放公平、自愿平等、优势互补”的原则，建立战略合作伙伴关系，共同携手就集成电路领域的科研合作、产业合作、人才交流等方面形成长期稳定的合作关系，充分发挥各自的资源优势，实现共同发展的战略目标。合作重点将围绕科技合作、产业合作、人才交流三个方面就技术攻关、创新平台项目申报、科技成果转化推广、研发资源及服务开放共享、产-学-研深度融合等领域进行全方位互利合作，以期推动浙江及嘉善集成电路高质量“芯”发展。
嘉芯半导体作为本土半导体核心装备新锐企业之一，于2021年4月由万业企业携手全球知名产业专家共同投资成立，总投资规模达20亿元，用地面积109亩。公司研发及制造刻蚀、薄膜沉积、快速热处理等集成电路成熟工艺的关键设备，产品覆盖芯片制造核心设备的多个重要品类。自2022年下半年开始，嘉芯半导体多次中标客户特色工艺生产线，包含氮化硅等离子刻蚀机、金属等离子刻蚀机、深槽刻蚀机、侧墙等离子刻蚀机；高密度等离子薄膜沉积设备（HDP-CVD)、掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备（SACVD）、钛/氮化钛沉积设备（MOCVD）、铝铜金属溅射设备（Metal Sputter(Al/Ti/TiN)）；快速热处理（RTP）设备以及双燃烧+双水洗尾气处理等多类设备。
嘉善复旦研究院是为响应和落实《长三角一体化发展规划纲要》国家战略而建设的重点实验室。依托复旦大学集成电路全产业链学科优势，研究院致力于高能级创新载体建设、科研攻关与成果转化、赋能本地产业升级、打造协同创新生态、助力数字化改革。作为首轮重点建设国家集成电路创新中心浙江分中心，研究院承担着复旦大学人才资源、创新资源，产业资源与浙江区域特色经济精准对接的“桥头堡”，推动长三角一体化协同创新产业体系建设。
此次战略合作标志着双方在深化合作、协同发展的道路上树立起新的里程碑，充分发挥“产业+学研”双轮驱动功能，实现提升技术创新能力、科研成果加速转化的双向优势赋能，并同步链接校企在技术研发、人才培养、市场开拓等方面产生强大的协同效应，为我国集成电路行业发展注入“芯”活力。
展望未来，嘉芯半导体将继续聚焦集成电路领域发展的前沿方向，与嘉善复旦研究院继续开拓深度合作，持续提升关键产业链、关键技术、关键产品能级，源源不断地为实现中国集成电路产业蓬勃发展贡献智慧与力量。
（文章来源：上海证券报·中国证券网）
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